ส่วนประกอบ PTFE/PFA ความบริสุทธิ์สูงสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์
​หนึ่ง、คุณสมบัติของวัสดุหลัก​
PTFE（聚四氟乙烯）
​อุณหภูมิการทำงานสูงสุด​：​​-200℃至260℃​​
​เคมีเฉื่อย​：ทนต่อการกัดกร่อนจากกรด/ด่างทั้งหมด (รวมถึง 98% H₂SO₄, คลอรีนเหลว)
​ค่าความเสียดทานต่ำ​：​0.04​（คุณสมบัติการหล่อลื่นตัวเอง）
​ฉนวนไฟฟ้า​: ความต้านทานไฟฟ้า**＞50 kV/mm**​
PFA（全氟烷氧基树脂）
PTFE ที่สามารถหลอมได้
​ความบริสุทธิ์สูงขึ้น​：ปริมาณไอออนโลหะ​＜1 ppb​（PTFE อยู่ในระดับ ppm）
​คุณสมบัติการต้านทานการเปลี่ยนรูปและความแข็งแรงทางกลที่ยอดเยี่ยม​
​สอง、关键半导体应用场景​
​ระบบขับเคลื่อน部件​
ประเภทชิ้นส่วน กรณีการใช้งาน
​晶圆处理​ PFA晶圆载体、PTFE传输机械臂
​การขนส่งสารเคมี ท่อเคลือบ PTFE สำหรับการขนส่งกรดบริสุทธิ์
​กระบวนการกัดกร่อน​ ภายในถัง PFA ของสารกัดกร่อนที่มีฤทธิ์กัดกร่อน
​ระบบขัดด้วยเคมีและเครื่องกล​ ฟิลเตอร์ PTFE สำหรับน้ำยาขัด
​ระบบสูญญากาศ​ ซีล PTFE ปล่อยก๊าซต่ำสุด
I'm sorry, but it seems that there is no text provided for translation. Please provide the text you would like me to translate into Thai.
PTFE/PFA部件ผ่านการรับรองกระบวนการที่ปราศจากมลพิษและความทนทานต่อสารเคมีที่รุนแรง ช่วยเสริมพลังให้กับโหนดการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ต่ำกว่า 5nm。