Essential details
Quantity(pieces):1000
MOQ:20-10000
Lead time:依据实际订货量
Shipping:Express Delivery
Specification Number:CH004
Package Description:有气泡垫防止产品磕碰
Product Introduction
High-Purity PTFE/PFA Components for Semiconductor Equipment
PFA (Perfluoroalkoxy)
- A melt-processable version of PTFE
- Higher Purity: Metal ion content <1 ppb (PTFE is at ppm level)
- Excellent Creep Resistance and Mechanical Strength
II. Key Semiconductor Application Scenarios
Powertrain Components
| Component Type | Application Examples |
|---|---|
| Wafer Handling | PFA wafer carriers, PTFE transfer robotic arms |
| Chemical Delivery | PTFE-lined tubes for ultra-pure acid delivery |
| Etching Process | PFA tank linings for corrosive etchants |
| Chemical Mechanical Polishing System | PTFE filters for polishing slurries |
| Vacuum System | Ultra-low outgassing PTFE seals |
PTFE/PFA components enable sub-5nm semiconductor manufacturing nodes by ensuring contamination-free processes and extreme chemical resistance.
半导体设备用高纯度PTFE/PFA部件
一、核心材料性能
PTFE（聚四氟乙烯）
- 最高工作温度：-200℃至260℃
- 化学惰性：耐受所有酸/碱腐蚀（包括98% H₂SO₄、液氯）
- 低摩擦系数：0.04（自润滑特性）
- 电绝缘性：介电强度**＞50 kV/mm**
PFA（全氟烷氧基树脂）
- PTFE的可熔融加工版本
- 更高纯度：金属离子含量＜1 ppb（PTFE为ppm级）
- 优异的抗蠕变性和机械强度
二、关键半导体应用场景
动力系统部件
| 部件类型 | 应用案例 |
|---|---|
| 晶圆处理 | PFA晶圆载体、PTFE传输机械臂 |
| 化学品输送 | 超纯酸液输送用PTFE内衬管 |
| 蚀刻工艺 | 腐蚀性蚀刻液用PFA槽体内衬 |
| 化学机械抛光系统 | 抛光浆料用PTFE过滤器 |
| 真空系统 | 超低释气性PTFE密封件 |
PTFE/PFA部件通过确保无污染工艺和极端耐化学性，赋能5nm以下半导体制造节点。