퍼플루오로알콕시 수지 (PFA) 플루오로플라스틱 제품
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규격 번호:CH004
포장 설명:버블 패드가 충격 손상을 방지합니다
제품 소개
반도체 장비용 고순도 PTFE/PFA 부품
PFA (퍼플루오로알콕시)
PTFE의 용융 가공 가능한 버전
​더 높은 순도: 금속 이온 함량 <1 ppb (PTFE는 ppm 수준)
우수한 크리프 저항성과 기계적 강도
II. 주요 반도체 응용 시나리오
​파워트레인 구성 요소​
컴포넌트 유형응용 예시
​웨이퍼 핸들링​ PFA 웨이퍼 캐리어, PTFE 전송 로봇 팔
​화학 배달​ 초순수 산 배달을 위한 PTFE 라이닝 튜브
​에칭 프로세스​ 부식성 에칭제를 위한 PFA 탱크 라이닝
​화학 기계 연마 시스템​ 연마 슬러리를 위한 PTFE 필터
​진공 시스템​ 초저가스 방출 PTFE 씰
PTFE/PFA 구성 요소는 오염 없는 프로세스와 극한의 화학 저항성을 보장하여 5nm 이하 반도체 제조 노드를 가능하게 합니다.
귀하의 정보를 남겨주시면
저희가 연락드리겠습니다.
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