ペルフルオロアルコキシ樹脂 (PFA) フルオロプラスチック製品
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20-10000
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宅配便, 陸運, 海運, 空運
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1000
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製品情報
よくある質問
ディテール
数量(個):1000
最小注文数量:20-10000
リードタイム:依据实际订货量
配送方法:宅配便, 陸運, 海運, 空運
規格番号:CH004
パッケージの説明:有気泡マットで衝撃から保護
製品ディテール
半導体装置用高純度PTFE/PFA部品
PFA(ペルフルオロアルコキシ)
PTFEの溶融加工可能なバージョン
​より高い純度:金属イオン含有量 <1 ppb (PTFEはppmレベル)
優れたクリープ抵抗性と機械的強度
II. 主要な半導体応用シナリオ
​パワートレインコンポーネント​
コンポーネントタイプアプリケーション例
​ウエハハンドリング​ PFAウエハキャリア、PTFE転送ロボットアーム
​化学薬品の配送​ 超純粋酸の配送用PTFEライニングチューブ
​エッチングプロセス​ 腐食性エッチャント用PFAタンクライニング
​化学機械研磨システム​ ポリッシングスラリー用PTFEフィルター
​真空システム​ 超低ガス放出PTFEシール
PTFE/PFAコンポーネントは、汚染のないプロセスと極端な化学抵抗を確保することにより、5nm未満の半導体製造ノードを可能にします。
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