Resina Perfluoroalchossilica (PFA) Prodotti Fluoroplastici
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numero di specificazione:CH004
Istruzioni per l'imballaggio cinese:有气泡垫防止磕碰受损
Introduzione del prodotto
Componenti in PTFE/PFA ad alta purezza per attrezzature per semiconduttori
PFA (Perfluoroalcoxi)
Una versione processabile per fusione del PTFE
​Maggiore purezza: Contenuto di ioni metallici <1 ppb (PTFE è a livello ppm)
Eccellente resistenza alla deformazione e resistenza meccanica
II. Scenari chiave di applicazione dei semiconduttori
​Componenti del sistema di trasmissione​
Tipo di ComponenteEsempi di Applicazione
​Gestione dei wafer​ portawafers in PFA, bracci robotici di trasferimento in PTFE
​Consegna Chimica​ tubi rivestiti in PTFE per la consegna di acidi ultra-puri
​Processo di incisione​ rivestimenti in PFA per agenti corrosivi di incisione
Sistema di lucidatura chimico-meccanica Filtri in PTFE per slurry di lucidatura
​Sistema di Vuoto​ Guarnizioni in PTFE a bassa emissione di gas
I componenti in PTFE/PFA consentono la produzione di semiconduttori a nodi inferiori a 5nm garantendo processi privi di contaminazione e un'estrema resistenza chimica.
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